高纯气体
高纯气体（无机类）
气体名称 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
氦气 He 99.995% CH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H20≤10
99.999% O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3
99.9995% O2≤0.5 CH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1
氩 Ar 99.99% O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15
99.999% O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4
99.9995% O2≤1 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.5 H2O≤1
氢 H2 99.99% O2≤5 CO2≤5 N2≤60 CH4≤10 CO≤5 H2O≤30
99.999% O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1
氮 N2 99.99% O2≤50 CO2≤10 H2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤5
99.999% O2≤1 H2O≤2 H2≤1 HC≤3
氧 O2 99.995% Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 HC≤2
二氧化碳 CO2 99.995% O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 HC≤10
99.999% O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 HC≤1
一氧化碳 CO 99.95 % 氮气<350,氧气<50,水<5
气体名称 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
二氧化硫 SO2 99.9% 氧+氮<100,水<10,其他<200
一氧化氮 NO 99.5% 氧化亚氮<4000、二氧化氮<2000、氮气<300、二氧化碳<500
二氧化氮 NO2 99.9%
氧化亚氮 N2O 99.99%
氖 Ne 99.995% H2≤2 N2≤5 He≤40 THC≤1 O2+Ar≤2 H2O≤2
99.999% O2≤1 N2≤5 H2O≤2 He≤10
氪 Kr 99.99% N2≤20 H2≤2 O2+Ar≤5 Xe≤50 H2O≤3 THC≤3
99.998% N2≤3 H2≤0.5 O2+Ar≤2 Xe≤4 H2O≤2.6 THC≤1
氙 Xe 99.99% N2≤20 Ar≤10 N2O≤1 O2≤2 H2≤2 Kr≤50 H2O≤3 HC≤3
99.998% N2≤3 THC≤1 N2O≤0.5 O2+Ar≤2 H2O≤2.6 H2≤0.5 Kr≤4
硫化氢 H2S 99.9% 氢气<200ppm、氧气+氮气<100ppm、水<3ppm
液氯
Cl2 99.9% 二氧化碳<400、一氧化碳 <10、氢气<200、氮气<100、氧气<20、水 <100
99.999%
氨 NH3 99%
99.999% 氧气 <1.0ppm,氮气 <2.0ppm，一氧化碳<1.0ppm水含量<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm
六氟化硫 SF6 99.99% O2≤10 H20≤5 N4≤40 HF≤0.1 CF4≤25
合成空气 Air O2:19.5～22.5% H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5
零空气 O2: 19.5～22.5% H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1
高纯气体（有机类）
气体名称 化学式 规格(%) 不纯物(ppm)
甲烷 CH4 99.5% O2≤100 HC≤1500 N2≤600 H2≤2000
99.95% O2≤5 H2≤10 N2≤100 HC≤100 H2O≤5 CO/CO2≤10
99.995% O2≤2 H2≤5 N2≤10 HC≤20 H2O≤5 CO/CO2≤1
99.9995% O2≤0.5 H2≤0.1 N2≤2 HC≤0.1 H2O≤2 CO2≤0.1
乙烷 C2H6 99.9% O2≤50 N2≤40 HC≤1000
99.99% O2≤2 HC≤100 N2≤5 H2O≤5 CO2≤5
乙烯 C2H4 99.95% O2≤2 CH4≤100 N2≤5 C2H6≤350 H2O≤30 HC≤100
丙烷 C3H8 98.5% O2≤100 HC≤14000 CO+CO2≤10 H2O≤12
99.95% O2≤10 HC≤400 N2≤40 H2O≤5 CO2≤10
丙烯 C3H6 99.5% HC≤1000 C3H8≤4000
99.95% N2≤10 C3H8≤3000 C4H6-1.3≤5 CH4≤5 C4H10≤5 C2H6≤50 C4H8≤5
丙二烯 C3H4 98% 丙炔≤20000
丙炔 C3H4 98% 丙二烯≤20000
环丙烷 C3H6 99%
正丁烷 C4H10 99.0% O2≤15 H2O≤20 HC≤1%
99.5% O2≤15 H2O≤12 HC≤5000 CO+CO2≤10
99.95% O2≤10 H2O≤10 HC≤500 CO+CO2≤10
异丁烷 C4H10 99.5% O2≤15 C3H8≤4000 C4(uns.)≤100 H2O≤15 n-C4H10≤2500 CO+CO2≤10
99.99% O2≤10 C3H8≤10 C4(uns.)≤50 H2O≤5 n-C4H10≤50 CO+CO2≤10
丁烯-1 C4H8 99.9% H2O≤10 HC≤1000
顺-2-丁烯 C4H8 99.4% HC≤7000
反-2-丁烯 C4H8 99.4% HC≤7500
异丁烯 C4H8 99.99% H2O≤5 HC≤100
1.3-丁二烯 C4H6 99.8% O2≤5 N2≤10 HC≤1200
正戊烷 C5H12 99.5% C5H10＜0.1wt i-COH12: 0.4wt%
异戊烷 C5H12 99.3% n-C5H12: 0.5%
氯甲烷 CH3Cl 99% 甲醇≤4000
溴甲烷 CH3Br 99.99% 氧≤1，水≤2
氯乙烯 C2H3Cl 99.9%